一種光刻機(jī)的成像裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021494552.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213122597U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213122597U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類(lèi)號(hào) G03F7/20 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;鄧超略;朱勤;黃文斌;趙家峰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖南印之明智能制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 聶穎
地址 411110 湖南省湘潭市高新區(qū)光華路搖錢(qián)社區(qū)19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光刻機(jī)的成像裝置，包括底座和電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿安裝于底座上方，所述電動(dòng)伸縮桿遠(yuǎn)離底座的一端安裝將放置在其上的PCB板放入光刻機(jī)工作位置進(jìn)行曝光的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，現(xiàn)有的升降平臺(tái)在使用的過(guò)程中一次只可對(duì)一塊PCB板進(jìn)行放置，且每次更換新的PCB板后便需要重新進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，降低了工作效率，為此，我們提出一種光刻機(jī)的成像裝置，使用旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)代替普通工作臺(tái)，可同時(shí)放入三塊PCB板，通過(guò)電動(dòng)伸縮桿即可同步完成三塊PCB板的高度調(diào)節(jié)，之后通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)將三塊PCB板依次放入光刻機(jī)工作位置，同時(shí)通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)即可完成對(duì)三塊PCB板的偏轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)，即可依次進(jìn)行曝光、收取和放入PCB板，提高工作效率。