一種碳化硅粉料的加料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121238720.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215800047U 公開(kāi)（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215800047U 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) C30B29/36（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李帥;李函朔;趙建國(guó) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馮妙娜
地址 250118山東省濟(jì)南市槐蔭區(qū)天岳南路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種粉料加料裝置，具體涉及一種碳化硅粉料的加料裝置，屬于半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該粉料加料裝置，包括：給料機(jī)構(gòu)，所述給料機(jī)構(gòu)設(shè)置于裝料件上方，用于向所述裝料件內(nèi)輸送所述粉料；壓料機(jī)構(gòu)，所述壓料機(jī)構(gòu)包括壓料盤(pán)，所述壓料盤(pán)進(jìn)入所述裝料件內(nèi)并向下運(yùn)動(dòng)，用于壓實(shí)所述裝料件內(nèi)的粉料。通過(guò)給料機(jī)構(gòu)，自動(dòng)化向裝料件內(nèi)輸送粉料，并通過(guò)壓料盤(pán)向下運(yùn)動(dòng)，用于壓實(shí)裝料件內(nèi)的粉料，能夠提高裝料件內(nèi)粉料的平整度，避免裝料件在裝配過(guò)程中造成粉料的傾斜，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的質(zhì)量。