一種檢測晶片缺陷用載物臺及缺陷檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122033033.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215812368U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215812368U 申請公布日 2022-02-11
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳殿瑞;王永方;黃長航;邵紅;謝新昌 申請（專利權(quán)）人 山東天岳先進科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 馮妙娜
地址 250118山東省濟南市槐蔭區(qū)天岳南路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種檢測晶片缺陷用載物臺及缺陷檢測裝置，屬于晶片檢測領(lǐng)域。該檢測晶片缺陷用載物臺包括：放置臺，所述放置臺包括第一鏤空區(qū)，所述第一鏤空區(qū)的開口用于承載待檢測的晶片；所述第一鏤空區(qū)用于使發(fā)射信號源發(fā)出的信號穿過所述晶片傳輸?shù)浇邮招盘栐?。該載物臺對晶片的待檢測區(qū)域無遮擋，避免在檢測晶片時放置臺作為背景對測試結(jié)果產(chǎn)生干擾，保證檢測的精確度。