鋯氧化物納米粒子及其制備方法、光刻膠組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110862938.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113651357A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113651357A 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) C01G25/02（2006.01）I;B82Y40/00（2011.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 何向明;徐宏;盛麗;王莉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京華睿新能動(dòng)力科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王賽
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種鋯氧化物納米粒子及其制備方法、光刻膠組合物及其應(yīng)用。該鋯氧化物納米粒子的制備方法包括如下步驟：提供或制備鋯鹽溶液，所述鋯鹽溶液包括第一溶劑和分散于所述第一溶劑中的鋯鹽；將配體加入所述鋯鹽溶液中，混合均勻，以制備含鋯反應(yīng)體系；加熱所述含鋯反應(yīng)體系，控制加熱溫度為40℃～100℃，使所述含鋯反應(yīng)體系中生成鋯氧化物；停止加熱，并靜置至析出固體組分。該鋯氧化物納米粒子的制備方法能夠顯著降低鋯氧化物納米粒子的粒徑并提高粒徑分布的均勻程度，進(jìn)而能夠有效提高作為光刻膠時(shí)顯影后圖案的分辨率。