具有濃度自調(diào)節(jié)功能的濕法清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023069353.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213988838U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213988838U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳鎬碩;樸靈緒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州恩騰半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 215024江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)02棟703室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種具有濃度自調(diào)節(jié)功能的濕法清洗設(shè)備，包括：清洗槽、補(bǔ)給管路、濃度監(jiān)測(cè)裝置及控制裝置；清洗槽用于承載清洗液及待清洗件；補(bǔ)給管路一端與清洗槽相連通，另一端與補(bǔ)給源相連接，補(bǔ)給管路上設(shè)置有電動(dòng)閥；濃度監(jiān)測(cè)裝置位于清洗槽內(nèi)；控制裝置與濃度監(jiān)測(cè)裝置及電動(dòng)閥相連接，以基于濃度監(jiān)測(cè)裝置的監(jiān)測(cè)結(jié)果控制電動(dòng)閥的通斷，由此向清洗槽內(nèi)補(bǔ)充所需的化學(xué)液，以將清洗槽內(nèi)的清洗液濃度維持在預(yù)設(shè)值。本實(shí)用新型對(duì)清洗槽的清洗液濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以將清洗液的濃度維持在預(yù)設(shè)值，有助于確保清洗質(zhì)量，提高批次內(nèi)及批次間的晶圓清洗質(zhì)量的均勻性；通過(guò)有效延長(zhǎng)清洗液的清洗壽命，可以有效降低清洗成本，減少清洗液的排放。 |
