一種拋光設(shè)備用的配重加壓式環(huán)刀型修盤(pán)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921570583.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN210819121U 公開(kāi)(公告)日 2020-06-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN210819121U 申請(qǐng)公布日 2020-06-23
分類(lèi)號(hào) B24B53/017(2012.01)I 分類(lèi) -
發(fā)明人 卓俊輝;謝紹棕;孔令沂;鄧菁;韓景瑞;孫國(guó)勝;李錫光 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司
地址 523000廣東省東莞市松山湖北部工業(yè)城工業(yè)北一路5號(hào)二樓辦公樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種拋光設(shè)備用的配重加壓式環(huán)刀型修盤(pán)器,由上往下依次包括:連接環(huán),與所述連接環(huán)連接的底座結(jié)構(gòu),所述底座結(jié)構(gòu)的底部外側(cè)設(shè)置有環(huán)形刀口,所述環(huán)形刀口的高度為2~10mm,寬度為2~5mm,且所述環(huán)形刀口有0.5*45°~1*45°的倒角。本實(shí)用新型解決了阻尼布拋光墊難以清洗內(nèi)部、清洗不完全干凈等問(wèn)題,有效提高了拋光墊的使用壽命。??