一種錫酸鎘基透明導(dǎo)電膜、其生產(chǎn)工藝及太陽(yáng)能電池

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710427759.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109037390A 公開(kāi)(公告)日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN109037390A 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) H01L31/18;H01L31/0224 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周潔;吳歷清;吳選之 申請(qǐng)(專利權(quán))人 龍焱能源科技(杭州)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙青朵
地址 310018 浙江省杭州市下沙區(qū)文海北路凌云街801號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N錫酸鎘基透明導(dǎo)電膜、其生產(chǎn)工藝及太陽(yáng)能電池。本申請(qǐng)的生產(chǎn)工藝中先將靶材在含氧氣體環(huán)境中進(jìn)行磁控濺射,再?gòu)?fù)合過(guò)渡膜層,之后在保護(hù)性氣氛下進(jìn)行退火。按照本發(fā)明的制備方法無(wú)需進(jìn)行緊貼退火方式,直接在保護(hù)氣氛下退火即可,大大簡(jiǎn)化了退火工藝,能夠?qū)崿F(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)。本發(fā)明還提供了一種錫酸鎘基透明導(dǎo)電膜及包含該錫酸鎘基透明導(dǎo)電膜的太陽(yáng)能電池,相比于現(xiàn)有商業(yè)化TCO膜,本發(fā)明提供的錫酸鎘基透明導(dǎo)電膜的電學(xué)和光學(xué)性能明顯提高。