微機調(diào)控激光干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN02104819.3 申請日 -
公開（公告）號 CN1435683A 公開（公告）日 2003-08-13
申請公布號 CN1435683A 申請公布日 2003-08-13
分類號 G01N21/45;G01N3/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 羅至善 申請（專利權）人 天津大學北洋科技開發(fā)公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 300072天津市南開區(qū)天津大學四季村29－5－401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬光機電和計算機一體化的儀器，可用于云紋干涉法、電子散斑法和電子幾何云紋法正常光照下亞動態(tài)測試，體積小成本低。設置激光器1，擴束鏡2，準直鏡3，分光鏡/反光鏡4，正交光柵5，反射鏡組6、7，驅(qū)動線路板8，步進和變速系統(tǒng)9，攝像機10以及微機11、反射鏡13等。除11和13外，組裝在一個封閉的多層框架12內(nèi)。14為測試對象。由11驅(qū)動8、9使擴束鏡2移動，實現(xiàn)擴束光和準直光的變換；驅(qū)動4實現(xiàn)光柵分光和分光鏡分光的變換；驅(qū)動6、7實現(xiàn)測試靈敏度的小步距大范圍調(diào)節(jié)，初始或載波云紋的調(diào)節(jié)；有微機處理、判斷功能，用于結(jié)構(gòu)強度、熱應力、殘余應力、焊接質(zhì)量、電子封裝延壽研究，層間缺陷檢測，工程、生物和復合材料力學性能測試研究。