一種用于搖擺爐的爐室
基本信息

| 申請?zhí)?/td> | CN202210084146.3 | 申請日 | - |
| 公開(公告)號 | CN114438598A | 公開(公告)日 | 2022-05-06 |
| 申請公布號 | CN114438598A | 申請公布日 | 2022-05-06 |
| 分類號 | C30B29/46(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I;H01L35/16(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉朝軒;邵瑋;戚振華 | 申請(專利權)人 | 洛陽市自動化研究所有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛陽市高新開發(fā)區(qū)豐華路6號銀昆科技園1號樓四層D10 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 一種用于搖擺爐的爐室,涉及人工晶體制備領域,本發(fā)明通過在爐室主體(1)內設置復數(shù)個石英管放置工位,然后通過在石英管(7)的兩端放置高溫棉(11)使石英管牢牢的固定在石英管放置工位上,在一次同時設置多根石英管放置工位的同時還有效的避免了石英管在搖擺的過程中發(fā)生破碎的風險,有效的提高了生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本等,本發(fā)明具有結構簡便,使用效果好等特點,適合大范圍的推廣和應用。 |





