原子層沉積系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201830204173.4 申請日 -
公開（公告）號 CN304993848S 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN304993848S 申請公布日 2019-01-11
分類號 - 分類 -
發(fā)明人 鄭文岸;張光海;李哲峰 申請（專利權(quán)）人 深圳市原速科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道興東社區(qū)優(yōu)創(chuàng)空間1號樓511-513
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 1．本外觀設(shè)計產(chǎn)品的名稱：原子層沉積系統(tǒng)。2．本外觀設(shè)計產(chǎn)品的用途：本外觀設(shè)計產(chǎn)品用于原子層薄膜沉積。3．本外觀設(shè)計產(chǎn)品的設(shè)計要點：產(chǎn)品的形狀。4．最能表明本外觀設(shè)計設(shè)計要點的圖片或照片：立體圖。