模具及其形成方法、圖像傳輸結(jié)構(gòu)的形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610192240.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN107283691A 公開(kāi)(公告)日 2017-10-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN107283691A 申請(qǐng)公布日 2017-10-24
分類(lèi)號(hào) B29C33/38(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 分類(lèi) 塑料的加工;一般處于塑性狀態(tài)物質(zhì)的加工;
發(fā)明人 朱虹;房偉;林崴平;凌嚴(yán) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 上海瑞艾立微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳敏
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)龍東大道3000號(hào)5幢202-02室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種模具及其形成方法、圖像傳輸結(jié)構(gòu)的形成方法,所述模具的形成方法,包括:提供基底;在所述基底表面形成具有開(kāi)口的掩膜層;沿所述開(kāi)口刻蝕基底,在基底內(nèi)形成凹槽,所述凹槽底部與側(cè)壁的連接處呈圓弧狀;形成覆蓋所述凹槽內(nèi)部表面以及掩膜層的疏水性膜。上述方法形成的模具能夠用于形成較小尺寸的透鏡。