立式熱處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111447283.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114220750A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114220750A 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李元志;劉科學;吳艷華;孫妍;周文飛;魏明蕊 申請（專利權(quán)）人 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高東
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種立式熱處理設(shè)備，包括工藝爐和爐門，該爐門用于密封該工藝爐的爐口；該爐門包括隔熱盤和冷卻盤，其中：該隔熱盤為石英結(jié)構(gòu)件，該隔熱盤具有相背設(shè)置的密封面和第一安裝面，該爐門通過該密封面密封該爐口；該冷卻盤具有第二安裝面；在該第一安裝面和該第二安裝面中，其中一者上設(shè)置有定位凸部，另一者上設(shè)置有定位凹部，該定位凸部可與該定位凹部定位配合，該隔熱盤通過該定位凸部和該定位凹部的配合而定位安裝于該冷卻盤。上述方案能夠防止隔熱盤與冷卻盤之間產(chǎn)生相對位移。