半導(dǎo)體設(shè)備及其升降機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122349052.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216105786U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216105786U 申請公布日 2022-03-22
分類號 B66F3/08（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 唐鵬;王磊磊 申請（專利權(quán)）人 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 100176北京市北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備及其升降機構(gòu)。該升降機構(gòu)用于帶動半導(dǎo)體設(shè)備的承載裝置升降，其包括：絲杠、絲母組件及補償套筒；絲杠的兩端固定設(shè)置，并且能在一驅(qū)動裝置的驅(qū)動下自旋轉(zhuǎn)；絲母組件套設(shè)于絲杠外周，用于將絲杠的回轉(zhuǎn)動作轉(zhuǎn)化為直線動作；補償套筒套設(shè)于絲母組件的外周，補償套筒的內(nèi)周壁與絲母組件的外周壁間隙配合，并且補償套筒的第一端與絲母組件的一端固定連接，補償套筒的第二端用于連接承載裝置，補償套筒能夠發(fā)生撓曲變形，以用于補償絲母組件的徑向受力。本申請實施例能避免絲母組件與絲杠不同軸而造成的升降阻力較大造成的卡頓及升降失敗，從而確保升降機構(gòu)的可靠性同提高工藝良率。