激光直寫設(shè)備中多路光路校準系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010573071.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111781800A 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN111781800A 申請公布日 2020-10-16
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖燕青;茆曉華;陳海巍 申請（專利權(quán)）人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
地址 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了激光直寫設(shè)備中多路光路校準系統(tǒng)及方法，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域。所述方法通過成像轉(zhuǎn)換組件對各光路所投的圖像進行轉(zhuǎn)換，像經(jīng)過成像轉(zhuǎn)換組件透鏡組后變成平行光通過校準光路的各光學(xué)元件(全反鏡+透反鏡)，最終經(jīng)CCD物鏡將平行入射的光線成像到CCD靶面相機上。通過成像轉(zhuǎn)換組件將光路用于校準的圖形成像到無窮遠，從而解決了CCD靶面相機與各光路距離不一樣的問題，因為不需要移動載物平臺，所以避免了現(xiàn)有多光路校準的方法存在的耗時長且校準精度依賴于可移動平臺的精度的問題。??