一種調(diào)節(jié)成像光路倍率及夾角的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922277839.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211427045U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211427045U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 肖燕青;何偉;程珂;陳海巍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 地址 | 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種調(diào)節(jié)成像光路倍率及夾角的裝置，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)成像光路倍率及夾角的裝置，包括DMD承載臺(tái)、夾角調(diào)節(jié)裝置和底座，其中DMD承載臺(tái)用于承載DMD組件，包括至少三個(gè)倍率調(diào)節(jié)裝置；通過(guò)旋轉(zhuǎn)倍率調(diào)節(jié)裝置上的手桿，使其上的指針對(duì)應(yīng)相同值的刻度，達(dá)到升降DMD承載臺(tái)以調(diào)節(jié)DMD與到PCB板的距離，此過(guò)程無(wú)需對(duì)設(shè)備進(jìn)行拆卸，方便操作，且指針和刻度的配合，使得在調(diào)節(jié)各個(gè)倍率調(diào)節(jié)裝置時(shí)有所參照，達(dá)到準(zhǔn)確調(diào)節(jié)的要求；在需要進(jìn)行夾角調(diào)節(jié)時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)手輪來(lái)調(diào)節(jié)中空的板件的相對(duì)位置，從而帶動(dòng)DMD承載臺(tái)位置的改變來(lái)達(dá)到夾角調(diào)節(jié)的目的。?? |
