一種提高曝光機(jī)曝光精度和抗干擾能力的觸發(fā)電路
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022664467.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213305542U | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213305542U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | H04N5/235(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 肖燕青;何先福;吳永超;陳海巍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 林娟 |
| 地址 | 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種提高曝光機(jī)曝光精度和抗干擾能力的觸發(fā)電路，屬于曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。所述觸發(fā)電路由差分單端轉(zhuǎn)換電路、信號(hào)分路電路、電源降壓電路和信號(hào)輸入輸出接口電路組成；能夠同時(shí)輸出多路觸發(fā)脈沖，可以有效地將差分信號(hào)反饋給DMD數(shù)字微鏡，每路之間延遲時(shí)間小，整體延時(shí)小，同時(shí)差分信號(hào)高度免疫外界電磁干擾，故提高了觸發(fā)電路信號(hào)的一致性和抗干擾性，解決了因外界因素影響，導(dǎo)致信號(hào)會(huì)出現(xiàn)偶發(fā)性丟失的問題，減小曝光圖形與實(shí)際圖形的偏差，提高產(chǎn)品良率，提高曝光機(jī)曝光性能。?? |
