一種磷化銦尾料制備磷化銦多晶的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111045842.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113774491A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113774491A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類(lèi)號(hào) C30B29/40（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳偉杰;白平平;周鐵軍;危嚴(yán);林嘉威;齊正陽(yáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱偉雄
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)創(chuàng)興三路16號(hào)A車(chē)間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種磷化銦尾料制備磷化銦多晶的方法，包括：將磷化銦尾料和過(guò)量紅磷分別置于真空密封石英管的兩端，再置于加熱器中，將加熱器置于壓力容器內(nèi)，在后續(xù)的加熱過(guò)程中磷化銦尾料區(qū)域的溫度高于紅磷區(qū)域；加熱升溫確保在磷化銦尾料區(qū)域溫度達(dá)到磷化銦的熔點(diǎn)前使石英管內(nèi)壓力達(dá)到磷化銦的離解壓；待石英管內(nèi)壓力到達(dá)磷化銦離解壓后，將磷化銦區(qū)域的溫度升至1100～1300℃進(jìn)行保溫；然后對(duì)磷化銦區(qū)域進(jìn)行分區(qū)域降溫以使磷化銦進(jìn)行定向凝固，得到磷化銦多晶料。本方法不僅能獲得良率高的磷化銦多晶，而且可以提高磷化銦廢料的利用率，簡(jiǎn)化工藝，降低生產(chǎn)成本，避免回收銦和磷過(guò)程中造成的資源浪費(fèi)，減少?gòu)U水廢渣的產(chǎn)生，保護(hù)環(huán)境。