一種氬氣回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122100599.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN216113400U 公開(公告)日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216113400U 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) F17D1/065(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;B01D46/30(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 魏宏成;顏庭勇 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州盛福祥凈化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州智品專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 豐葉
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)北橋街道鵝東工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種氬氣回收裝置,包括過(guò)濾機(jī)構(gòu)、增壓機(jī)構(gòu)、回收純化機(jī)構(gòu)和第一氬氣罐,所述過(guò)濾機(jī)構(gòu)包括冷卻器、活性炭過(guò)濾器和塵埃過(guò)濾器,所述冷卻器的輸入口連接回收氬氣和氮?dú)?,所述活性炭過(guò)濾器和塵埃過(guò)濾器串聯(lián),所述冷卻器的輸出口與塵埃過(guò)濾器的輸入口連接,所述增壓機(jī)構(gòu)包括第二氬氣罐、風(fēng)機(jī)和回流冷卻器,所述第二氬氣罐的輸入口與過(guò)濾機(jī)構(gòu)的氬氣輸出管連接,所述第二氬氣罐的輸出口與回流冷卻器的輸入口連通。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置活性炭過(guò)濾器、塵埃過(guò)濾器等結(jié)構(gòu)設(shè)置為多組并聯(lián)結(jié)構(gòu),其中一組有故障會(huì)自動(dòng)切換另一組工作,保障設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定,傳統(tǒng)設(shè)備工藝干燥器會(huì)消耗10%再生氣體,本實(shí)用新型沒有尾氣排放,能耗減少。