一種陶瓷電容式壓力傳感器的彈性薄基板及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011588667.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112834085A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112834085A 申請公布日 2021-05-25
分類號 G01L1/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙興奎;廖景昌;周宇波;黃河;沈河江 申請（專利權）人 襄陽臻芯傳感科技有限公司
代理機構 蘇州中合知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉召民
地址 441000 湖北省襄陽市東津新區(qū)（經(jīng)開區(qū)）大灣區(qū)（襄陽）工業(yè)園辦公樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陶瓷電容式壓力傳感器的彈性薄基板及制作方法，包括：50～90份氧化鋁粉，10～30份氧化鋯粉，40～60份溶劑，0.3～0.8份分散劑，0.3～0.8份消泡劑，3～6份增塑劑，6～9份樹脂，其中，份數(shù)均指重量份。方法包括以下步驟：S1：將上述成分通過直徑為3?10mm的鋯球在球磨罐內(nèi)混合球磨制成漿料；S2：將漿料抽真空10～30分鐘后進行流延形成生瓷片；S3：將所述生瓷片在沖壓機上進行沖壓，形成生瓷胚；S4：將生瓷坯裝入排膠缽，利用循環(huán)熱風干燥箱對所述生瓷坯加熱；S5：將步驟S4中加熱后生瓷坯用高溫燒成爐燒結。本發(fā)明所述的彈性薄基板提高了陶瓷電容式壓力傳感器的可靠性。