一種多晶硅還原爐供電系統(tǒng)及其控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110701697.5 申請日 -
公開(公告)號 CN113346763A 公開(公告)日 2021-09-03
申請公布號 CN113346763A 申請公布日 2021-09-03
分類號 H02M5/12(2006.01)I;G05F1/66(2006.01)I;C01B33/021(2006.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 譚兵;催連潤;曹進(jìn) 申請(專利權(quán))人 四川英杰電氣股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張玲;王瑩瑩
地址 618000四川省德陽市金沙江西路686號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多晶硅還原爐供電系統(tǒng)及其控制方法,對硅芯進(jìn)行擊穿,并對硅芯進(jìn)行供電維持加熱,包括主變壓器、輸出調(diào)節(jié)單元、啟動(dòng)擊穿單元、功率調(diào)節(jié)單元,且所述啟動(dòng)擊穿單元至少包括兩組;其中,主變壓器的輸出端與所述功率調(diào)節(jié)單元、至少兩組啟動(dòng)擊穿單元的輸入端電氣連接;至少兩組啟動(dòng)擊穿單元的輸出端通過輸出調(diào)節(jié)單元與硅芯電氣連接,經(jīng)隔離升壓變壓器對硅芯進(jìn)行擊穿;功率調(diào)節(jié)單元的輸出端通過輸出調(diào)節(jié)單元與硅芯電氣連接,用于對擊穿后的硅芯進(jìn)行供電維持加熱。本發(fā)明主要提高了供電系統(tǒng)的穩(wěn)定性,節(jié)省了對硅芯的高壓擊穿時(shí)間和降低多晶硅還原爐供電系統(tǒng)的整體成本,提高了多晶硅的生產(chǎn)效率。