一種自動設(shè)置調(diào)頻邊界的方法和射頻電源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110296477.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113065237A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113065237A 申請公布日 2021-07-02
分類號 G06F30/20;G06F17/16;H01J37/32 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 邱文杰;劉洋;黃陽 申請（專利權(quán)）人 四川英杰電氣股份有限公司
代理機構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 韓洋
地址 618000 四川省德陽市金沙江西路686號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電源領(lǐng)域，特別涉及一種自動設(shè)置調(diào)頻邊界的方法和射頻電源。本發(fā)明的方法對射頻電源的輸出電壓和電流進行跳頻采樣，然后計算負載降階模型參數(shù)矩陣，得到負載模型幅頻曲線多項式方程，對多項式方程進行偏導(dǎo)求解，由此構(gòu)建負載頻率關(guān)系函數(shù)；求得使所述負載頻率關(guān)系函數(shù)的值小于零的頻率范圍，所述頻率范圍的邊界即調(diào)頻邊界；在調(diào)頻邊界內(nèi)進行頻率微調(diào)查找匹配頻率。本發(fā)明能夠自動計算調(diào)諧的頻率邊界，在邊界內(nèi)微調(diào)頻率，能夠快速實現(xiàn)頻率調(diào)諧達到阻抗匹配，大大縮短了調(diào)諧時間，且不需要人工干預(yù)，可靠性高。