一種旋轉(zhuǎn)靶材綁定用抽真空裝置及采用該裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911043184.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112746251A 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN112746251A 申請公布日 2021-05-04
分類號 C23C14/34;C23C14/56;B22D19/04 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳標(biāo);劉所心;郭朋;段宇龍 申請（專利權(quán)）人 廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韋微
地址 545616 廣西壯族自治區(qū)柳州市柳東新區(qū)水灣路2號柳東標(biāo)準(zhǔn)廠房2號配套辦公樓222號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材綁定用抽真空裝置及采用該裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，綁定時，背管放置在模具底座的圓形凹槽內(nèi)，旋轉(zhuǎn)靶材套裝在背管外側(cè)并放置在圓形凹槽外的模具底座上，密封蓋的圓形端蓋放置在背管上，密封蓋的凸緣與旋轉(zhuǎn)靶材上端面接觸，壓桿放置在密封蓋上，所述密封環(huán)Ⅰ設(shè)置于靶材與模具底座之間，密封環(huán)Ⅱ設(shè)置在背管與模具底座之間，密封環(huán)Ⅲ設(shè)置于靶材與密封蓋之間，密封環(huán)Ⅳ設(shè)置在背管與密封蓋之間。本發(fā)明在綁定過程對旋轉(zhuǎn)靶材與背管之間形成的密閉空間進(jìn)行抽真空，能夠防止加熱過程中旋轉(zhuǎn)靶材被氧化，解決了現(xiàn)有綁定技術(shù)中靶管金屬化層與背管金屬化層在升溫過程中被氧化的問題。