一種高貼合強(qiáng)度旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911214635.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110747438B | 公開（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110747438B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-23 |
| 分類號(hào) | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 馬超寧;陳標(biāo);劉所心;郭朋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 韋微 |
| 地址 | 545616廣西壯族自治區(qū)柳州市柳東新區(qū)水灣路2號(hào)柳東標(biāo)準(zhǔn)廠房2號(hào)配套辦公樓222號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種高貼合強(qiáng)度旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，包括以下步驟：（1）將旋轉(zhuǎn)靶材和背襯管分別進(jìn)行粗化處理；（2）將旋轉(zhuǎn)靶材內(nèi)壁與背襯管外壁分別涂覆一層高溫?zé)o機(jī)膠粘劑，加熱至115?125℃，保溫1?3h，再最后對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材內(nèi)壁與背襯管外壁進(jìn)行超聲波涂銦；所述高溫?zé)o機(jī)膠粘劑是由環(huán)氧樹脂和物質(zhì)A構(gòu)成，所述物質(zhì)A是銅粉、銦粉、銀粉和石墨中的一種或多種；（3）將旋轉(zhuǎn)靶材與背襯管進(jìn)行金屬化處理。本發(fā)明方法可以無需考慮靶材體、焊料層和背襯管三者的熱膨脹系數(shù)，綁定完成的靶材具有很好的貼合強(qiáng)度，杜絕后期使用中靶材體與背襯管脫離的風(fēng)險(xiǎn)，從而提高旋轉(zhuǎn)靶材的利用率。 |
