一種硅微諧振式加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810095264.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108490216A 公開（公告）日 2018-09-04
申請公布號 CN108490216A 申請公布日 2018-09-04
分類號 G01P15/097 分類 測量；測試;
發(fā)明人 段曉敏;周駿 申請（專利權(quán)）人 嘉興市納杰微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華鼎知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 嘉興市納杰微電子技術(shù)有限公司
地址 314000 浙江省嘉興市南湖區(qū)凌公塘路3339號(嘉興科技城)1號樓306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的一種硅微諧振式加速度計，微機(jī)械杠桿機(jī)構(gòu)的力臂遠(yuǎn)離錨體的一端固定在質(zhì)量塊上，諧振器的運動部件與力臂連接，并由力臂帶動產(chǎn)生位移，諧振器關(guān)于質(zhì)量塊的中線對稱設(shè)置，相互對稱的兩個諧振器的運動部件在受力后位移方向相反，諧振器關(guān)于質(zhì)量塊的中線對稱設(shè)置，使得兩個諧振器工作模態(tài)的諧振頻率相等，兩個諧振器分布在質(zhì)量塊的兩端可以大大減小諧振結(jié)構(gòu)的互擾，減小加速度計的噪聲水平，并且，由于諧振器位于質(zhì)量塊的兩端，可大大減小由于質(zhì)量塊加工不對稱引起諧振結(jié)構(gòu)的不對稱振動，因此，大大降低了因工藝誤差、溫度變化與環(huán)境振動引起的漂移，從而從結(jié)構(gòu)上有效的抑制了環(huán)境因素的干擾，有效提高了加速度計的靈敏度。