一種半導(dǎo)體集成電路晶圓測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120085905.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214503808U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214503808U 申請(qǐng)公布日 2021-10-26
分類號(hào) G01R31/26（2014.01）I;G01R31/28（2006.01）I;G01R1/02（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 侯進(jìn)山 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓3樓370室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及探針臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種半導(dǎo)體集成電路晶圓測(cè)試裝置，包括測(cè)試裝置本體，所述測(cè)試裝置本體的上方設(shè)置有頂板，所述頂板的底部和測(cè)試裝置本體的頂部之間設(shè)置有豎桿，所述頂板的頂部固定有第一氣缸，所述第一氣缸的伸縮端貫穿頂板的頂部并固定有蓋板。該半導(dǎo)體集成電路晶圓測(cè)試裝置，可以通過(guò)測(cè)試裝置本體外側(cè)的防護(hù)層，以避免出現(xiàn)碰傷工作人員的現(xiàn)象，并且，可以通過(guò)第二氣缸和底板將測(cè)試裝置本體抬起，可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)、固定板、軸承座、板孔、絲桿、限位滑槽、升降板、限位滑塊、豎板、連接板和移動(dòng)輪之間的配合，帶動(dòng)移動(dòng)輪伸縮，以便于工作人員對(duì)測(cè)試裝置本體的移動(dòng)，降低了工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。