一種用于檢測(cè)晶圓的測(cè)試設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122311925.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215812934U 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215812934U 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) G01R1/04（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊兆明;曾春耕;張?chǎng)H 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓3樓370室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種用于檢測(cè)晶圓的測(cè)試設(shè)備，屬于晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，它解決了目前的測(cè)試設(shè)備無法對(duì)不同大小的晶圓進(jìn)行固定測(cè)試的問題。本用于檢測(cè)晶圓的測(cè)試設(shè)備，包括檢測(cè)臺(tái)，檢測(cè)臺(tái)的右側(cè)固定有第一電機(jī)，第一電機(jī)的輸出軸栓接有螺桿，螺桿的另一端延伸至檢測(cè)臺(tái)的內(nèi)部并與檢測(cè)臺(tái)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，螺桿表面的兩側(cè)均螺紋連接有螺套，螺套的頂部焊接有弧形板，且兩個(gè)弧形板之間設(shè)置有晶圓本體，檢測(cè)臺(tái)頂部的左側(cè)設(shè)置有外殼，外殼的內(nèi)部固定有第二電機(jī)，第二電機(jī)的輸出軸栓接有轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤的表面焊接有活動(dòng)塊，且活動(dòng)塊的表面滑動(dòng)連接有槽板。本實(shí)用新型能夠?qū)Σ煌笮〉木A進(jìn)行固定測(cè)試，并提高了晶圓測(cè)試的工作效率。