一種改進(jìn)的晶圓測(cè)試裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122297191.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215833456U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215833456U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-15 |
| 分類號(hào) | G01R1/04（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 楊兆明;曾春耕;張?chǎng)H | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓3樓370室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種改進(jìn)的晶圓測(cè)試裝置，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，它解決了現(xiàn)有的檢測(cè)裝置容易造成晶圓的損壞，對(duì)晶圓的固定不夠穩(wěn)定且晶圓在進(jìn)行檢測(cè)時(shí)容易松動(dòng)的問(wèn)題。本晶圓測(cè)試裝置，包括底座，底座頂部的右側(cè)固定有支撐柱，支撐柱的表面滑動(dòng)連接有連接柱，連接柱的左側(cè)固定有測(cè)試儀器，支撐柱與連接柱之間設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)，底座頂部的兩側(cè)均固定有連接桿，連接桿的頂部固定有放置臺(tái)，放置臺(tái)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有固定板，固定板的頂部固定有晶圓固定座，晶圓固定座的頂部開(kāi)設(shè)有固定槽，放置臺(tái)的兩側(cè)均設(shè)置有固定結(jié)構(gòu)；本實(shí)用新型具備了使用時(shí)便于對(duì)晶圓固定，提高了晶圓的測(cè)試效率，且提高了晶圓的良品率的優(yōu)點(diǎn)。 |
