一種菱形硅芯的卡件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021941348.8 申請日 -
公開(公告)號 CN213326754U 公開(公告)日 2021-06-01
申請公布號 CN213326754U 申請公布日 2021-06-01
分類號 C01B33/035(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 楊楠;李壽琴;賈琳蔚;陳紹林 申請(專利權)人 云南通威高純晶硅有限公司
代理機構 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 代理人 趙麗
地址 678100云南省保山市昌寧園中園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種菱形硅芯的卡件,屬于多晶硅生產技術領域,包括底座、尖嘴和固定環(huán),所述底座下端底部開設有凹孔,所述尖嘴放置在底座上,所述固定環(huán)套設在底座和尖嘴的外側,固定環(huán)套用于固定底座和尖嘴,所述固定環(huán)包括上套環(huán),所述上套環(huán)與尖嘴緊密配合,所述尖嘴中部開設有用于固定菱形硅芯的通孔,解決了現有技術中硅芯卡件不能與菱形硅芯緊密配合,達不到穩(wěn)定固定菱形硅芯的目的;且卡件結構復雜,制造卡件工藝繁雜,導致成本高;以及晶體硅的沉積效率低,產品收率低的問題。??