濾波器及其制備方法、雙工器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110863077.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113541638A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113541638A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) H03H9/54（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H3/08（2006.01）I;H03H9/70（2006.01）I;H03H9/72（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 吳明;王家友;王礦偉;楊清華;唐兆云;賴志國(guó);李合景 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 紹興漢天下微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 蔡舒野
地址 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠街道銀橋路326號(hào)3幢3樓309-312B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種濾波器及其制備方法、雙工器，各諧振器層在襯底的一側(cè)沿襯底厚度方向堆疊設(shè)置，各諧振器層形成垂直結(jié)構(gòu)而非平鋪結(jié)構(gòu)，使得濾波器所占用平面的面積減小，提高濾波器的集成度，進(jìn)而有利于實(shí)現(xiàn)包括本實(shí)施例的濾波器的通信系統(tǒng)的小型化。并且，本發(fā)明實(shí)施例的濾波器僅包括一個(gè)晶圓，進(jìn)而使得濾波器中所需晶圓數(shù)量減少，有利于節(jié)約成本；且相鄰諧振器層直接接觸，因此直接在一諧振器層的一側(cè)進(jìn)行相鄰諧振器層的沉積即可，無(wú)需采用鍵合工藝，使得濾波器的制備工藝也較為簡(jiǎn)化。