具有高透光電極結(jié)構(gòu)的TOF傳感器以及成像裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921775237.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211529954U 公開(公告)日 2020-09-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN211529954U 申請(qǐng)公布日 2020-09-18
分類號(hào) H01L27/146(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 黃忠守;馬隆鑫;徐淵;姚浩東;陳志芳 申請(qǐng)(專利權(quán))人 光微信息科技(合肥)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市贏源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市光微科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道同富裕工業(yè)城10棟1樓102房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┚哂懈咄腹怆姌O結(jié)構(gòu)的TOF傳感器以及成像裝置,其包括:半導(dǎo)體襯底;形成于該半導(dǎo)體襯底內(nèi)的光電二極管的陣列;疊加電極結(jié)構(gòu),其設(shè)置于該光電二極管陣列的光線入射一側(cè),包括多層電極和多層絕緣膜和對(duì)準(zhǔn)光電二極管的可透過紅外光的透明區(qū)域;以及微透鏡陣列,設(shè)置于該入射光通孔的光線入射一側(cè);疊加電極的至少一層電極在通孔邊緣往襯底方向延伸和彎折,引導(dǎo)光線進(jìn)入光電二極管。本申請(qǐng)的結(jié)構(gòu)可以有效防止光線進(jìn)入多層電極之間造成的橫向串?dāng)_和光能損失。??