一種半導(dǎo)體外延石英部件加工砂輪、研磨裝置以及磨床

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111065615.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113500502A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113500502A 申請公布日 2021-10-15
分類號 B24B19/22（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I;B24B45/00（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;蔣建新 申請（專利權(quán)）人 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種半導(dǎo)體外延石英部件加工砂輪、研磨裝置以及磨床，涉及半導(dǎo)體外延石英部件生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)域，包括連接套、通過連接裝置可拆卸設(shè)置在連接套上的精磨輪和粗磨輪。本申請通過解鎖連接裝置，然后根據(jù)加工要求更換精磨輪和粗磨輪進行更換，提高了對砂輪進行選擇時的便利性，也降低了多次更換砂輪的概率，而且在產(chǎn)品加工時，可提前將需要的精磨輪和粗磨輪更換完成，以此來提高了砂輪對產(chǎn)品進行加工時的加工效率。