諧振器、濾波器及制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111365022.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114070258A 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN114070258A 申請公布日 2022-02-18
分類號 H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H3/08（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王礦偉;賴志國;楊清華 申請（專利權(quán)）人 蘇州漢天下電子有限公司
代理機構(gòu) 北京希夷微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 吳黎
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城東北區(qū)NE-39幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供了一種諧振器、濾波器及制造方法，其中所述諧振器的制造方法包括：形成底電極；在所述底電極上形成壓電層；在所述壓電層上形成至少一個凹陷部，所述凹陷部的深度與待形成的質(zhì)量負載層的厚度相同；在所述壓電層上形成上電極，所述上電極填充入所述凹陷部的部分形成所述質(zhì)量負載層，并使所述上電極的上表面平坦化。