掩膜板周轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920432829.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209873080U 公開（公告）日 2019-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN209873080U 申請(qǐng)公布日 2019-12-31
分類號(hào) C23C14/24（2006.01）; C23C14/04（2006.01）; C23C14/12（2006.01） 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽浚潁光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市南鋒專利事務(wù)所有限公司 代理人 唐軍;安徽浚潁光電有限公司
地址 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)碧嶺街道沙湖社區(qū)錦龍大道南2-10號(hào)1棟3樓、2棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種掩膜板周轉(zhuǎn)裝置，用于裝載并轉(zhuǎn)運(yùn)掩膜板，包括箱體及定位保持件，箱體具有收容腔及與所述收容腔相通的裝載口，所述裝載口適于所述掩膜板裝入所述收容腔；定位保持件設(shè)在所述收容腔內(nèi)，以將所述掩膜板豎向固定并保持在所述收容腔內(nèi)。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板周轉(zhuǎn)裝置，可以將掩膜板通過定位保持件豎向固定并保持在收容腔內(nèi)，由于掩膜板豎向布置，所以，在運(yùn)輸或轉(zhuǎn)運(yùn)過程，可以防止由于顛簸或其他壓力導(dǎo)致掩膜基板的中心下沉，確保掩膜基板的精度不受影響，同時(shí)，掩膜板位于箱體內(nèi)，利用箱體對(duì)掩膜板起到隔離保護(hù)作用，防止在轉(zhuǎn)運(yùn)過程中收到?jīng)_擊或撞擊造成損傷。