一種太陽能電池片制備用硅片去除磷硅玻璃酸洗裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010162896.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111354662A | 公開（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申請公布號 | CN111354662A | 申請公布日 | 2020-06-30 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 湯葉華;徐永鋒;王孟;施成軍 | 申請（專利權(quán)）人 | 南通歐貝黎新能源電力股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京馳納智財知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南通歐貝黎新能源電力股份有限公司 |
| 地址 | 226600江蘇省南通市海安縣海安鎮(zhèn)黃海西路188號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種太陽能電池片制備用硅片去除磷硅玻璃酸洗裝置，屬于太陽能電池片制備技術(shù)領(lǐng)域，一種太陽能電池片制備用硅片去除磷硅玻璃酸洗裝置，通過酸洗箱與腐蝕酸制備箱的配合，可事先對氫氟酸溶液進行分散處理并進行存儲，當(dāng)裝有硅片的清洗籃置于清洗槽后，通過固定機構(gòu)對清洗籃進行固定，密封板對酸洗箱進行密封，再將腐蝕酸制備箱內(nèi)的氫氟酸溶液導(dǎo)入其內(nèi)，在放置硅片時，技術(shù)人員不會接觸到氫氟酸溶液，起到保護作用，在進行酸洗時，清洗籃隨旋轉(zhuǎn)電機進行旋轉(zhuǎn)，易于提高氫氟酸溶液對硅片的酸洗沖擊力，從而有利于提高對硅片上的磷硅玻璃去除效率，且在酸洗過程中將反應(yīng)產(chǎn)生的氣態(tài)四氟化硅導(dǎo)入至氣體過濾池內(nèi)，易于對有毒氣體進行處理。?? |
