一種266nm深紫外固體激光器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011571371.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112688151A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112688151A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | H01S3/082(2006.01)I;H01S3/081(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 肖志松 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 羅根激光科技（武漢）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶信航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 吳從吾 |
| 地址 | 430205湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)藏龍島長(zhǎng)咀村長(zhǎng)咀光電子工業(yè)園一期8號(hào)廠房1-3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種266nm深紫外固體激光器，包括用于提供激光晶體受激輻射的激光電源、用于對(duì)激光器進(jìn)行散熱的水冷卻系統(tǒng)、1064nm諧振腔、腔內(nèi)倍頻光路和腔外四倍頻光路，1064nm諧振腔包括第一平凸透鏡、第二平凸透鏡、平凸鏡、激光晶體、聲光調(diào)制器和第一反射鏡；腔內(nèi)倍頻光路包括LBO二倍頻晶體和532nm分光鏡；腔外四倍頻光路包括第二發(fā)射鏡、CLBO四倍頻晶體和布魯斯特等腰棱鏡；本發(fā)明一種266nm深紫外固體激光器通過(guò)諧振腔內(nèi)分離倍頻的532nm激光；利用色散原理分離四倍頻后產(chǎn)生的266nm激光和剩余的532nm激光，并輸出266nm激光至出光口；光學(xué)模式較好，光?光轉(zhuǎn)換效率達(dá)到80％。?? |
