微機(jī)電諧振式壓力敏感結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120960989.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216593886U 公開（公告）日 2022-05-24
申請公布號 CN216593886U 申請公布日 2022-05-24
分類號 G01L1/10（2006.01）I;G01L9/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭梅寒;余倫宙;劉洪喜 申請（專利權(quán)）人 慧石（上海）測控科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國新南方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種能夠消除諧振頻率變化中的非線性頻率變化的微機(jī)電諧振式壓力敏感結(jié)構(gòu)，包括：具有密封空腔的基體，設(shè)置在基體的頂部的壓敏薄膜，設(shè)置在密封空腔內(nèi)、并且中部懸空的彈性懸臂梁，至少一對相對設(shè)置在彈性懸臂梁兩側(cè)的功能電極，至少一對相對設(shè)置在彈性懸臂梁兩側(cè)的補(bǔ)償電極，以及設(shè)置在所述壓敏薄膜上、并且自所述壓敏薄膜向所述基體的底部方向延伸形成的多個(gè)錨點(diǎn)；固定補(bǔ)償電極的錨點(diǎn)在壓敏薄膜受壓發(fā)生形變時(shí)隨固定彈性懸臂梁的錨點(diǎn)一同位移。本實(shí)用新型提供的微機(jī)電諧振式壓力敏感結(jié)構(gòu)能夠在壓敏薄膜受壓發(fā)生形變時(shí)，通過錨點(diǎn)傳遞形變至彈性懸臂梁并消除其諧振頻率變化中的非線性頻率變化的部分，從而提高測量的準(zhǔn)確性。