壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120179222.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214702569U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214702569U 申請公布日 2021-11-12
分類號 G01L1/18（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志健;劉洪喜;熊娟 申請（專利權）人 慧石（上海）測控科技有限公司
代理機構 深圳國新南方知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 周雷
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種壓力傳感器，壓力傳感器包括襯底結構以及頂層結構，頂層結構中，第一硅層用作壓力敏感膜；第二硅層用作壓阻層；第一硅層的正面形成有用作島結構的厚半導體材料層；第一硅層的正面還形成有包覆第一硅層與厚半導體材料層的頂層下絕緣層；襯底結構的上表面向下凹陷形成鍵合槽，厚半導體材料層鍵合于鍵合槽內(nèi)并與鍵合槽形成間隙；第一硅層與襯底結構之間形成用作自檢測的第一電連接通道；第二硅層與襯底結構之間形成用作壓阻結構的第二電連接通道；第一電連接通道與第二電連接通道絕緣，第二電連接通道與第一硅層絕緣。該壓力傳感器在島結構與襯底結構之間構成電容結構，達到壓力傳感器的在線自校準的目的。