一種PECVD設(shè)備爐體支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921973082.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211394625U | 公開（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請公布號 | CN211394625U | 申請公布日 | 2020-09-01 |
| 分類號 | C23C16/50(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陳金元 | 申請（專利權(quán)）人 | 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國卓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 地址 | 225400江蘇省泰州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種PECVD設(shè)備爐體支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括：底座；一對結(jié)構(gòu)相同的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其分別固定安置于底座上壁面，且分別位于底座前后兩端相互對稱；還包括:控制箱，所述控制箱固定安置于一對所述其中一個調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，本實用新型涉及PECVD設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，通過承載環(huán)承載爐體的前后兩端，并通過翻折緊固環(huán)，通過螺栓和螺母的配合使?fàn)t體進(jìn)行夾緊固定；根據(jù)推舟送片機(jī)的高度，通過控制箱輸入，同時控制兩個升降結(jié)構(gòu)運動；使螺旋桿同外套筒受力在軸承內(nèi)轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使安裝板在限位限位卡板內(nèi)帶動承載環(huán)上的爐體進(jìn)行升降；該設(shè)計不僅可以有效的承載爐體的重量，且依靠電機(jī)的傳動力使?fàn)t體上下升降移動，便于控制以及調(diào)節(jié)精度較高。?? |
