一種PECVD尾氣處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921960206.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211753227U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211753227U 申請公布日 2020-10-27
分類號 B01D46/02(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 陳金元 申請（專利權(quán)）人 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國卓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司
地址 225400江蘇省泰州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種PECVD尾氣處理裝置，包括收集構(gòu)件，所述收集構(gòu)件的右側(cè)安裝有進氣管，所述收集構(gòu)件的內(nèi)部安裝有除塵構(gòu)件，所述除塵構(gòu)件的左側(cè)上下兩端均安裝有撐桿，所述撐桿的外壁套接有插管，所述插管之間安裝有過濾裝置。該PECVD尾氣處理裝置，通過支板、插管、第一螺紋管、過濾袋、支塊、橫桿和支架的配合，達到了可以對進氣管進入到箱體內(nèi)部帶有灰塵的有害氣體中的灰塵進行過濾工作，同時可以對過濾袋進行更換工作，通過外殼、盒體、環(huán)板、過濾棉和活性炭的配合，達到了可以對除塵后的有害氣體中的有害物質(zhì)進行過濾凈化工作，同時方便對過濾棉和活性炭進行更換工作，達到了可以將灰塵進行過濾收集工作，方便對灰塵的處理。??