一種PECVD系統(tǒng)的限位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921981779.4 申請日 -
公開（公告）號 CN211771538U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211771538U 申請公布日 2020-10-27
分類號 C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳金元 申請（專利權）人 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國卓知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司
地址 225400江蘇省泰州市泰興高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種PECVD系統(tǒng)的限位裝置，包括基座、連接板、驅(qū)動機構(gòu)、卡緊機構(gòu)和夾緊機構(gòu)，連接板可固定安裝在基座內(nèi)腔的左右兩側(cè)，驅(qū)動機構(gòu)裝配在基座的一側(cè)，卡緊機構(gòu)裝配在驅(qū)動機構(gòu)的一側(cè)，夾緊機構(gòu)螺紋連接在連接板的外壁。該PECVD系統(tǒng)的限位裝置，通過向內(nèi)側(cè)移動的第一夾板可以對其內(nèi)側(cè)放置的外接電極板進行夾緊固定，進而對其位置進行限位，通過連接座、彈簧、第二夾板和拉桿之間的配合，從而可以對外接太陽能玻璃板進行夾緊固定，進而對其位置進行限位，該裝置可以防止太陽能玻璃板和PECVD工件架的電極板摩擦，避免玻璃基板的受光面和膜面被劃傷，保證了制造的質(zhì)量，穩(wěn)定性好，實用性強，滿足現(xiàn)有市場上的使用需求。??