一種PECVD設(shè)備的爐門結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921974548.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211394626U | 公開（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211394626U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-01 |
| 分類號(hào) | C23C16/50(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陳金元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 理想萬(wàn)里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 理想萬(wàn)里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 地址 | 225400江蘇省泰州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種PECVD設(shè)備的爐門結(jié)構(gòu)，包括：爐體；封閉結(jié)構(gòu)，固定安置于爐體一端上方；輔助密封結(jié)構(gòu)，分別固定安置于爐體一端下壁；還包括：支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)固定焊接于爐體下壁，且位于中心部位處，本實(shí)用新型涉及PECVD設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，通過控制液壓缸的伸長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)，使密封門垂直向下移動(dòng)設(shè)定距離，并借助密封圈對(duì)爐體進(jìn)行密封；再通過控制氣缸的伸長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)，使壓緊桿在安裝桿一端進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，并使一端擠壓在密封門前后右側(cè)壁前后兩端，使密封門受力貼近密封圈防止泄露；當(dāng)打開時(shí)，同上述原理相同，驅(qū)動(dòng)控制方向相反，使密封門體上升到爐體上方；該設(shè)計(jì)不僅可使?fàn)t體進(jìn)行密封，防止泄露，且方便驅(qū)動(dòng)，避免人體以及密封門與送片機(jī)相撞。?? |
