一種平板式PECVD進(jìn)氣排布結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921972897.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211771537U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211771537U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-27 |
| 分類號(hào) | C23C16/455(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 陳金元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 理想萬(wàn)里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 理想萬(wàn)里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 地址 | 225400江蘇省泰州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種平板式PECVD進(jìn)氣排布結(jié)構(gòu)，包括，箱體、放置孔和連接塊，所述箱體的左右兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有放置孔，所述箱體的內(nèi)腔左右兩側(cè)均安裝有連接塊，移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述連接塊的內(nèi)腔安裝有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述箱體的內(nèi)腔頂端安裝有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，還包括外接管和伸縮軟管。該平板式PECVD進(jìn)氣排布結(jié)構(gòu)，通過(guò)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)桿，第二齒輪跟隨順時(shí)針旋轉(zhuǎn)可帶動(dòng)第一齒輪逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，促使螺桿跟隨逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，螺紋筒可在螺桿的外壁向下移動(dòng)，使進(jìn)氣管可向下移動(dòng)，從而改變進(jìn)氣管的高度，裝置的進(jìn)氣管可進(jìn)行上下調(diào)節(jié)，以根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程中的需求進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高裝置的適用范圍。?? |
