一種藍(lán)寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910796178.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110660696B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN110660696B 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類(lèi)號(hào) H01L21/66（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I;B24B37/10（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐良;朱志平;藍(lán)文安;支俊華;占俊杰;陽(yáng)明益;劉建哲;余雅俊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 金華銀行股份有限公司科技支行
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董李欣
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備，該制造方法在晶片退火之后直接進(jìn)行甩蠟烘烤、滴蠟測(cè)量和滴蠟拋光步驟。滴蠟拋光步驟包括：在烘烤后的蠟?zāi)さ谋砻婢恼行囊淮涡缘蜗骂A(yù)先測(cè)定的蠟料；將滴蠟后的晶片的蠟?zāi)っ媾c帶有熱度的陶瓷盤(pán)平面相貼，使蠟滴被擠壓形成圓形蠟餅，并相應(yīng)地在晶片的與蠟?zāi)っ嫦鄬?duì)的背面頂起一與蠟餅形狀一致的圓臺(tái)；對(duì)產(chǎn)生圓臺(tái)的晶片的背面進(jìn)行拋光，使晶片的背面中間凹陷且圓臺(tái)的外緣與晶背面的其余部分平滑過(guò)渡，并成為中間凹陷底部的圓面。滴蠟設(shè)備包括吸盤(pán)、點(diǎn)膠閥、儲(chǔ)蠟桶、導(dǎo)蠟管和數(shù)顯調(diào)壓閥。本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備，省去了晶片彎曲度分選工作，并能大幅提升襯底的產(chǎn)品合格率。