一種主鏡結(jié)構(gòu)簡化的平面干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022282291.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213120456U 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN213120456U 申請公布日 2021-05-04
分類號 G01B11/30;G01B9/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬仁勇 申請（專利權(quán)）人 上海翔野光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市創(chuàng)富知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高紅
地址 201800 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)田旺路65號1幢東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種主鏡結(jié)構(gòu)簡化的平面干涉儀，包括殼體，所述殼體的內(nèi)部頂壁安裝有激光燈，所述殼體的內(nèi)側(cè)壁對稱焊接有兩個(gè)第一固定板，兩個(gè)所述第一固定板相鄰的一側(cè)固定連接有分光棱鏡，所述殼體的內(nèi)側(cè)壁對稱焊接有兩個(gè)第二固定板，兩個(gè)所述第二固定板相鄰的一側(cè)固定連接有主鏡，所述主鏡的上表面一體成型有弧面部，在本裝置使用的過程中，通過主鏡一體成型的弧面部和平面部，簡化平面干涉儀的主鏡結(jié)構(gòu)，從而降低了平面干涉儀的制造成本，利于平面干涉儀生產(chǎn)使用，且在使用的過程中，主鏡一體成型的弧面部和平面部，減小了主體的整體變形，同時(shí)簡化主鏡結(jié)構(gòu)，使得在平面干涉儀裝配的過程中操作更加簡便，便于對平面干涉儀進(jìn)行裝配。