一種改善傳送手臂與載盤之間溫差的方法及傳送手臂結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110835695.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113421844A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113421844A 申請公布日 2021-09-21
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王艷良;李鑫 申請（專利權(quán)）人 上海稷以科技有限公司
代理機構(gòu) 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張佑富
地址 201100上海市閔行區(qū)蓮花南路2899號8幢2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改善傳送手臂與載盤之間溫差的方法及傳送手臂結(jié)構(gòu)，所述方法是在傳送手臂表面設(shè)置與晶圓載盤材質(zhì)相同的導(dǎo)熱條，將導(dǎo)熱條固定于傳送手臂與晶圓載盤接觸的表面。所述傳送手臂結(jié)構(gòu)包括陶瓷手臂主體，陶瓷手臂主體設(shè)有載盤承托區(qū)和散熱區(qū)，所述陶瓷手臂主體上設(shè)有導(dǎo)熱條，所述導(dǎo)熱條自陶瓷手臂主體上的載盤承托區(qū)表面延伸至散熱區(qū)表面。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是：有效的解決了鋁質(zhì)晶圓載盤和陶瓷傳送手臂間原本存在的熱量積聚，使得這部分熱量可以快速散發(fā)，抑制了超薄片因熱量難以散發(fā)而造成的卷曲現(xiàn)象。