一種可調(diào)節(jié)氣孔大小的離子篩網(wǎng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022405508.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213424938U 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN213424938U 申請公布日 2021-06-11
分類號 H01L21/67;H01J37/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張志強;張鵬 申請（專利權(quán)）人 上海稷以科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路555號戊樓4026室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可調(diào)節(jié)氣孔大小的離子篩網(wǎng)，包括上層孔板和下層孔板，上層孔板和下層孔板中心設(shè)有一共用轉(zhuǎn)軸，所述上層孔板上均勻分布有上通孔，下層孔板上均勻分布有與上通孔大小、形狀、數(shù)量及位置均相同的下通孔；所述上層孔板或下層孔板連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是：可通過自動調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)角度來實現(xiàn)不同的孔徑，提升了去膠速率大小（或刻蝕速率）的可調(diào)范圍，避免了為實現(xiàn)不同去膠工藝要求離子篩網(wǎng)的頻繁更換，提高的生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率。