一種改善等離子體灰化工藝均勻性的離子篩網(wǎng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110839983.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113467200A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113467200A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G03F7/42（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王艷良;李鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海稷以科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張佑富
地址 201100上海市閔行區(qū)蓮花南路2899號(hào)8幢2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改善等離子體灰化工藝均勻性的離子篩網(wǎng)，包括篩網(wǎng)本體，所述篩網(wǎng)本體中部設(shè)有凸形區(qū)域。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是：本發(fā)明通過(guò)重新設(shè)計(jì)離子篩網(wǎng)的機(jī)械形狀，達(dá)到均勻性的提高，有利于控制晶圓中心的去膠速率；同時(shí)，這種離子篩網(wǎng)還可以翻轉(zhuǎn)180度進(jìn)行裝配，適用于那些原本晶圓中心去膠速率較慢的場(chǎng)合，使得工藝調(diào)整更加容易。