一種多晶硅線痕片的制絨方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210576671.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103035780A 公開(kāi)（公告）日 2013-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN103035780A 申請(qǐng)公布日 2013-04-10
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許穎;武濤;趙釗;陳招銀;鄭煒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 太陽(yáng)能光伏北京市工程研究中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紐樂(lè)康知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 秦月貞
地址 101102 北京市通州區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地景盛南四街19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多晶硅線痕片的制絨方法，包括以下步驟：（1）在8℃～10℃恒溫槽內(nèi)配制硝酸和氫氟酸的混合溶液，該混合溶液為制絨液；（2）將多晶硅線痕片進(jìn)行裝載，然后在制絨液中制絨清洗，清洗1～3分鐘；（3）制絨清洗后，將多晶硅線痕片依次進(jìn)行純水清洗、堿洗、第二次純水清洗、去離子清洗以及第三次純水清洗過(guò)程，然后將硅片在溫度為40℃的空氣下烘干，最后將硅片卸載，得到制絨后的硅片。本發(fā)明的有益效果為：工藝過(guò)程簡(jiǎn)單，便于操作，使用拋光和制絨一步處理，大大縮短了制絨反應(yīng)時(shí)間，同時(shí)處理后的多晶硅線痕片表面形成均勻絨面，有效去除了切割所產(chǎn)生的線痕，有利于提高太陽(yáng)能電池的工作效率，提高了電池的吸光能力。