一種霍爾效應(yīng)電壓確定方法及霍爾測(cè)試系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010288145.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111474456B | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111474456B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | G01R33/07(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01N27/72(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 郭帥;馮巍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新磊半導(dǎo)體科技（蘇州）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 215151江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號(hào)出口加工區(qū)配套工業(yè)園28號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種霍爾效應(yīng)電壓確定方法及霍爾測(cè)試系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。該霍爾效應(yīng)電壓確定方法包括：采用范德堡法，在施加失調(diào)補(bǔ)償電壓的同時(shí)，在測(cè)試磁場(chǎng)值和測(cè)試激勵(lì)電流值下獲取材料樣品的電壓數(shù)據(jù)；根據(jù)電壓數(shù)據(jù)，計(jì)算獲得初始霍爾電壓；根據(jù)電壓數(shù)據(jù)，計(jì)算獲得霍爾電壓校正值；根據(jù)初始霍爾電壓和霍爾電壓校正值，確定材料樣品的霍爾效應(yīng)電壓。通過獲取材料樣品的電壓數(shù)據(jù)，并且根據(jù)電壓數(shù)據(jù)計(jì)算出表示材料樣品的失調(diào)電壓對(duì)霍爾效應(yīng)電壓的影響的霍爾電壓校正值，再根據(jù)初始霍爾電壓和霍爾電壓校正值確定材料樣品的霍爾效應(yīng)電壓，從而可以大幅降低霍爾測(cè)試中失調(diào)電壓對(duì)霍爾效應(yīng)電壓結(jié)果的影響，提高所獲得的霍爾效應(yīng)電壓的準(zhǔn)確度。?? |
