一種磁場(chǎng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021326379.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212905397U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212905397U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01R1/073(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I;G01R33/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張學(xué)瑩;林冠屹;王麟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 致真精密儀器（青島）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智繪未來專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙卿;肖繼軍 |
| 地址 | 266100山東省青島市嶗山區(qū)松嶺路393號(hào)北京航空航天大學(xué)青島研究院6號(hào)樓3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種磁場(chǎng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)，其包括：用于減震、承載和固定其余部件的基座，用于放置樣品的樣品承載模塊，用于在不同測(cè)試磁場(chǎng)環(huán)境下測(cè)試樣品不同特性的探針模塊，電磁鐵模塊，以及用于觀測(cè)探針模塊和樣品并進(jìn)行操作，采集圖像數(shù)據(jù)的顯微測(cè)量裝置，所述電磁鐵模塊包括：磁鐵橋架、勵(lì)磁電源和多個(gè)可拆卸的電磁鐵單元，磁鐵橋架安裝在基座上，用于固定電磁鐵單元；多個(gè)可拆卸的電磁鐵單元中的任意一個(gè)電磁鐵單元可拆卸地安裝在磁鐵橋架上，用于在勵(lì)磁電源的激勵(lì)下產(chǎn)生磁場(chǎng)。所述磁場(chǎng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)使用可拆卸、可調(diào)節(jié)的電磁鐵單元，可以靈活地生成一維或二維磁場(chǎng)，并能夠?qū)Σ煌叽绲臉悠愤M(jìn)行兼容，達(dá)到晶圓級(jí)樣品測(cè)試探針臺(tái)要求，最高可達(dá)24英寸。?? |
